半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調(diào)節(jié)：控制電場(chǎng)分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測(cè)與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù) 廢氣處理設(shè)備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔，中和電鍍過程中揮發(fā)的酸堿廢氣，符合環(huán)保排放要求。安徽微弧氧化電鍍?cè)O(shè)備

陽極氧化線的特點(diǎn)

1.膜層與基體一體化：氧化膜為金屬自身氧化物，結(jié)合力遠(yuǎn)超電鍍或噴涂的外來涂層，不易脫落。

2.功能可定制化：

防腐：致密膜層隔絕腐蝕介質(zhì)，鋁陽極氧化膜耐鹽霧可達(dá) 500 小時(shí)以上。

耐磨：硬質(zhì)陽極氧化膜（厚度 50~200μm）硬度接近陶瓷，適用于活塞、齒輪等機(jī)械部件。

裝飾：通過染色或電解著色實(shí)現(xiàn)多樣化外觀（如手機(jī)殼、建筑鋁型材）。

絕緣 / 散熱：高電阻率膜層用于電器絕緣，多孔結(jié)構(gòu)可提升散熱效率（如 LED 燈具）。

3.環(huán)保特性：傳統(tǒng)鉻酸工藝含重金屬，需配套廢水處理；現(xiàn)代主流為硫酸陽極氧化 + 無鉻封孔，環(huán)保性提升。4.材料適應(yīng)性：主要針對(duì)鋁、鎂、鈦等輕金屬，鋼鐵等材料因氧化膜疏松少用。 浙江經(jīng)濟(jì)型電鍍?cè)O(shè)備脈沖電鍍電源設(shè)備通過周期性通斷電流，減少鍍層孔隙率，提升結(jié)晶細(xì)致度，適用于精密零件電鍍。

滾鍍機(jī)的應(yīng)用場(chǎng)景：

滾鍍機(jī)決定生產(chǎn)線的適用工件類型滾

1.鍍機(jī)適用的工件特征

尺寸：直徑通常＜50mm，如螺絲、螺母、彈簧、電子連接器、小五金件。

形狀：規(guī)則或輕微不規(guī)則（避免卡孔或纏繞，影響滾筒旋轉(zhuǎn)）。

批量：適合萬件級(jí)以上的大批量生產(chǎn)（如標(biāo)準(zhǔn)件電鍍），小批量生產(chǎn)時(shí)滾鍍機(jī)效率優(yōu)勢(shì)下降。

2.對(duì)電鍍生產(chǎn)線的適配性

若生產(chǎn)線以滾鍍機(jī)為鍍槽設(shè)備，則整體設(shè)計(jì)圍繞 “小件批量處理” 優(yōu)化：

前處理槽體深度、寬度適配滾筒尺寸；

傳輸裝置采用適合滾筒吊裝的懸掛鏈或龍門架；

電源功率匹配滾筒內(nèi)工件總表面積（電流需均勻分布）。

反之，若生產(chǎn)線以掛鍍?yōu)橹鳎ㄈ缙嚺浼?、裝飾件），則鍍槽、傳輸系統(tǒng)設(shè)計(jì)完全不同，體現(xiàn) “定制化生產(chǎn)線” 特性。

廢氣處理設(shè)備和電鍍?cè)O(shè)備的關(guān)系

廢氣處理設(shè)備是電鍍?cè)O(shè)備不可或缺的配套設(shè)施，在電鍍生產(chǎn)過程中發(fā)揮著重要作用，具體關(guān)系如下：

保障環(huán)境與人員**：

電鍍過程中會(huì)產(chǎn)生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進(jìn)行處理，這些廢氣會(huì)彌漫在車間內(nèi)，不僅會(huì)對(duì)操作人員的身體健康造成嚴(yán)重危害。廢氣處理設(shè)備通過收集和凈化這些有害廢氣，能將車間內(nèi)的空氣質(zhì)量維持在**標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，同時(shí)確保排放到大氣中的廢氣符合環(huán)保要求，從而保護(hù)環(huán)境和人員健康。

保護(hù)電鍍?cè)O(shè)備：

電鍍車間內(nèi)的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性，長(zhǎng)期暴露在這些廢氣中，電鍍?cè)O(shè)備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會(huì)被腐蝕，導(dǎo)致設(shè)備的使用壽命縮短，維修成本增加。

廢氣處理設(shè)備有效去除有害廢氣，減少對(duì)電鍍?cè)O(shè)備的腐蝕，保障電鍍生產(chǎn)的穩(wěn)定進(jìn)行。

提升電鍍產(chǎn)品質(zhì)量：

如果車間內(nèi)廢氣彌漫，空氣中的灰塵、雜質(zhì)等容易吸附在待鍍工件表面，影響鍍層與工件的結(jié)合力，導(dǎo)致鍍層出現(xiàn)麻點(diǎn)、、起皮等缺陷，降低電鍍產(chǎn)品的質(zhì)量和良品率。廢氣處理設(shè)備有助于保持車間內(nèi)空氣的清潔，減少空氣中雜質(zhì)對(duì)鍍件的污染

滿足環(huán)保合規(guī)要求：

隨著環(huán)保法規(guī)的日益嚴(yán)格，電鍍企業(yè)必須確保其生產(chǎn)過程中的廢氣排放達(dá)到**和地方的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

滾鍍?cè)O(shè)備采用帶孔滾筒裝載小工件，旋轉(zhuǎn)翻滾中完成電鍍，高效處理螺絲、電子元件等批量小件。

電鍍自動(dòng)線是通過自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)的電鍍系統(tǒng)，主要類型及特點(diǎn)如下：

主流自動(dòng)線類型

1.龍門式自動(dòng)線

結(jié)構(gòu)：多工位龍門機(jī)械手驅(qū)動(dòng)，PLC控制

特點(diǎn)：精度高（±0.1mm），適用于精密件（如汽車部件、電子接插件）

產(chǎn)能：?jiǎn)尉€日處理量可達(dá)5000-10000件

2.環(huán)形垂直升降線

結(jié)構(gòu)：環(huán)形軌道+升降機(jī)，連續(xù)循環(huán)作業(yè)

特點(diǎn)：節(jié)拍快（20-40秒/掛），適合中小型工件（如五金件、衛(wèi)浴配件）

優(yōu)勢(shì)：占地小，能耗低（節(jié)電30%以上）

3.滾鍍自動(dòng)線

結(jié)構(gòu)：六角滾筒+變頻驅(qū)動(dòng)，批量處理小型零件（螺絲、紐扣）

參數(shù)：滾筒轉(zhuǎn)速3-10rpm，裝載量50-200kg/批

鍍層均勻性：±15%，效率達(dá)8㎡/h

4.連續(xù)電鍍線

類型：帶材/線材電鍍（如PCB銅箔、銅線）

技術(shù)：張力控制+多槽串聯(lián)，速度可達(dá)10-30m/min

精度：鍍層厚度偏差＜5%

5.機(jī)器人電鍍線

配置：六軸機(jī)器人+視覺定位

系統(tǒng)應(yīng)用：復(fù)雜曲面工件（汽車輪轂、航空部件）

優(yōu)勢(shì)：柔性生產(chǎn)，支持多品種切換

應(yīng)用領(lǐng)域

汽車：鍍鋅螺栓、輪轂鍍鉻

電子：PCB微孔鍍銅、連接器鍍金

五金：衛(wèi)浴配件鍍鎳、鎖具鍍鋅 過濾循環(huán)設(shè)備通過精密濾芯凈化電解液，去除金屬顆粒等雜質(zhì)，保障鍍液清潔與工藝穩(wěn)定。海南貴金屬電鍍?cè)O(shè)備

檢測(cè)設(shè)備的渦流測(cè)厚儀非接觸式快速測(cè)量鍍層厚度，實(shí)時(shí)反饋數(shù)據(jù)至 PLC 系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整參數(shù)。安徽微弧氧化電鍍?cè)O(shè)備

全自動(dòng)龍門電鍍生產(chǎn)線控制箱

是電鍍自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)的控制單元，主要用于協(xié)調(diào)龍門機(jī)械手、電鍍槽、電源系統(tǒng)、液位/溫度傳感器等設(shè)備的運(yùn)行，確保電鍍工藝精細(xì)執(zhí)行。

特性說明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌，每一臺(tái)行車可自動(dòng)、半自動(dòng)轉(zhuǎn)換，開放式自由程序選擇，智能控制管理，在電腦和人機(jī)界面觸摸屏對(duì)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理及進(jìn)行有效監(jiān)控，設(shè)計(jì)科學(xué)合理、緊湊、自動(dòng)化程度高；用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛(wèi)浴、燈飾家電等行業(yè) 安徽微弧氧化電鍍?cè)O(shè)備