在實(shí)際應(yīng)用中，這款設(shè)備已成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié)，它能通過熱分布成像識別光刻缺陷導(dǎo)致的局部漏電；在芯片封裝階段，可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱；針對 IGBT 等功率器件，能捕捉高頻開關(guān)下的瞬態(tài)熱行為，提前預(yù)警潛在失效風(fēng)險(xiǎn)。某半導(dǎo)體企業(yè)在檢測一批失效芯片時(shí)，傳統(tǒng)熱成像設(shè)備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域，而使用致晟光電的一體化設(shè)備后，通過鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個 2μm 的微小熱點(diǎn)，終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時(shí)發(fā)現(xiàn)，可能導(dǎo)致產(chǎn)品在長期使用中突然失效。鎖相熱紅外電激勵成像技術(shù)在各個領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景，為產(chǎn)品質(zhì)量控制和可靠性保障提供了重要手段。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)成像

在電子產(chǎn)業(yè)的半導(dǎo)體材料檢測中，電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)用途，為半導(dǎo)體材料的質(zhì)量提升提供了重要保障。半導(dǎo)體材料的質(zhì)量直接影響半導(dǎo)體器件的性能，材料中存在的摻雜不均、位錯、微裂紋等缺陷，會導(dǎo)致器件的電學(xué)性能和熱學(xué)性能下降。通過對半導(dǎo)體材料施加電激勵，使材料內(nèi)部產(chǎn)生電流，缺陷處由于導(dǎo)電性能和導(dǎo)熱性能的異常，會產(chǎn)生局部的溫度差異。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠敏銳地檢測到這些溫度差異，并通過分析溫度場的分布特征，評估材料的質(zhì)量狀況。例如，在檢測硅晶圓時(shí)，系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)晶圓表面的摻雜不均區(qū)域，這些區(qū)域會影響后續(xù)芯片制造的光刻和刻蝕工藝；在檢測碳化硅材料時(shí)，能夠識別出材料內(nèi)部的微裂紋，這些裂紋會導(dǎo)致器件在高壓工作時(shí)發(fā)生擊穿。檢測結(jié)果為半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)提供了詳細(xì)的質(zhì)量反饋，幫助企業(yè)優(yōu)化材料生長工藝，提升電子產(chǎn)業(yè)上游材料的品質(zhì)。缺陷定位鎖相紅外熱成像系統(tǒng)大全電激勵配合鎖相熱成像系統(tǒng)，檢測精密電子元件缺陷。

電激勵下的鎖相熱成像系統(tǒng)為電子產(chǎn)業(yè)的 PCB 板檢測提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持，尤其適用于高密度、高精度 PCB 板的質(zhì)量檢測。PCB 板作為電子設(shè)備的 “血管”，其線路密集且復(fù)雜，在生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)線路斷路、過孔堵塞、銅箔起皮等缺陷。這些缺陷若未被及時(shí)發(fā)現(xiàn)，會導(dǎo)致電子設(shè)備工作異常甚至故障。

通過對 PCB 板施加周期性的電激勵，電流會沿著線路流動，缺陷區(qū)域由于導(dǎo)電性能下降，會產(chǎn)生異常的焦耳熱，導(dǎo)致局部溫度升高。鎖相熱成像系統(tǒng)可通過快速掃描整板，捕捉到這些溫度異常區(qū)域，并通過圖像處理技術(shù)，定位缺陷的位置和范圍。與傳統(tǒng)的人工目檢或測試相比，該系統(tǒng)的檢測效率提升了數(shù)倍，而且能夠檢測出人工難以發(fā)現(xiàn)的細(xì)微缺陷。例如，在檢測手機(jī)主板這類高密度 PCB 板時(shí)，系統(tǒng)可在 10 分鐘內(nèi)完成整板檢測，并生成詳細(xì)的缺陷報(bào)告，為生產(chǎn)人員提供精確的修復(fù)依據(jù)，極大地助力了電子制造業(yè)提高生產(chǎn)效率。

鎖相熱成像系統(tǒng)在發(fā)展過程中也面臨著一些技術(shù)難點(diǎn)，其中如何優(yōu)化熱激勵方式與信號處理算法是問題。熱激勵方式的合理性直接影響檢測的靈敏度和準(zhǔn)確性，不同的被測物體需要不同的激勵參數(shù)；而信號處理算法則決定了能否從復(fù)雜的信號中有效提取出有用信息。為此，研究人員不斷進(jìn)行探索和創(chuàng)新，通過改進(jìn)光源調(diào)制頻率，使其更適應(yīng)不同檢測場景，開發(fā)多頻融合算法，提高信號處理的效率和精度等方式，持續(xù)提升系統(tǒng)的檢測速度與缺陷識別精度。未來，隨著新型材料的研發(fā)和傳感器技術(shù)的不斷進(jìn)步，鎖相熱成像系統(tǒng)的性能將進(jìn)一步提升，其應(yīng)用領(lǐng)域也將得到的拓展，為更多行業(yè)帶來技術(shù)革新。
電激勵與鎖相熱成像系統(tǒng)，電子檢測黃金組合。

這款一體化設(shè)備的核心競爭力，在于打破了兩種技術(shù)的應(yīng)用邊界。熱紅外顯微鏡擅長微觀尺度的熱分布成像，能通過高倍率光學(xué)系統(tǒng)捕捉芯片表面微米級的溫度差異；鎖相紅外熱成像系統(tǒng)則依托鎖相技術(shù)，可從環(huán)境噪聲中提取微弱的周期性熱信號，實(shí)現(xiàn)納米級缺陷的精細(xì)定位。致晟光電通過硬件集成與算法優(yōu)化，讓兩者形成 “1+1＞2” 的協(xié)同效應(yīng) —— 既保留熱紅外顯微鏡的微觀觀測能力，又賦予其鎖相技術(shù)的微弱信號檢測優(yōu)勢，無需在兩種設(shè)備間切換即可完成從宏觀掃描到微觀定位的全流程分析。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵檢測效率大幅提升。長波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)訂制價(jià)格

鎖相熱成像系統(tǒng)優(yōu)化電激勵檢測的圖像處理。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)成像

致晟光電的一體化檢測設(shè)備，不僅是技術(shù)的集成，更是對半導(dǎo)體失效分析邏輯的重構(gòu)。它讓 “微觀觀測” 與 “微弱信號檢測” 不再是選擇題，而是能同時(shí)實(shí)現(xiàn)的標(biāo)準(zhǔn)配置。在國產(chǎn)替代加速推進(jìn)的背景下，這類自主研發(fā)的失效分析檢測設(shè)備，正逐步打破國外品牌在半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域的技術(shù)壟斷，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的設(shè)備支撐。未來隨著第三代半導(dǎo)體、Micro LED 等新興領(lǐng)域的崛起，對失效分析的要求將進(jìn)一步提升，而致晟光電的技術(shù)探索，無疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)成像