電鍍：

到這一步，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅，銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了。

切割：

對(duì)晶圓進(jìn)行切割，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的。

測(cè)試：

測(cè)試分為三大類：功能測(cè)試、性能測(cè)試、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試、功耗測(cè)試、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過(guò)的，就是正片；部分測(cè)試未通過(guò)，但正常使用無(wú)礙，這是白片；未開(kāi)始測(cè)試，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的，這是黑片。

機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來(lái)決定的，但不宜盲目追求高速度。深圳官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài)，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測(cè)方面，通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測(cè)量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位移，從而確定吸臂在空間中的位置坐標(biāo)。陀螺儀則用于監(jiān)測(cè)吸臂的旋轉(zhuǎn)速度和方向變化，幫助控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)整運(yùn)動(dòng)姿態(tài)，確保吸臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)和準(zhǔn)確。激光傳感器可以對(duì)周圍環(huán)境進(jìn)行掃描和測(cè)距，輔助吸臂在復(fù)雜的工作場(chǎng)景中避開(kāi)障礙物，實(shí)現(xiàn)**的晶圓搬運(yùn)。深圳進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家吸臂材質(zhì)優(yōu)，具有良好的耐腐蝕性和耐磨性。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精巧且復(fù)雜。為了保證晶圓在搬運(yùn)過(guò)程中的穩(wěn)定性，吸臂的末端通常配備有專門設(shè)計(jì)的晶圓吸附裝置。這些吸附裝置采用真空吸附原理，通過(guò)在晶圓表面形成負(fù)壓，將晶圓牢固地吸附在吸臂上。吸附裝置的吸盤(pán)材質(zhì)通常選用柔軟、高彈性且無(wú)污染的材料，如硅膠等，既能確保足夠的吸附力，又不會(huì)對(duì)晶圓表面造成損傷。同時(shí)，吸盤(pán)的形狀和布局也經(jīng)過(guò)優(yōu)化，以保證晶圓受力均勻，避免在吸附和搬運(yùn)過(guò)程中產(chǎn)生翹曲或破裂等問(wèn)題。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊及一個(gè)連接模塊共三個(gè)基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個(gè)基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專門設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)。由這樣數(shù)個(gè)不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個(gè)自由度的空間機(jī)器臂。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過(guò)對(duì)由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性。如剛性差則會(huì)引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí)，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性、強(qiáng)耦合、實(shí)變等特點(diǎn)。深圳官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

臂應(yīng)承載能力大、剛性好、自重輕.深圳官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái)；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記，提高了晶圓的合格率。通用性強(qiáng)，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好，便于維修調(diào)整。深圳官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂賣價(jià)

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